快速热退火

基本属性

  • 拼音字母kuai su re tui huo
  • 拼音首字母ksrth
  • 注音符号ㄎㄨㄞ ㄙㄨ ㄖㄜ ㄊㄨㄟ ㄏㄨㄛ

扩展释义

快速—热退火( RTA) 是半导体加工工艺中的一种常规技术手段,一般用来激活半导体材料中的掺杂元素和将由离子注入造成的非晶结构恢复为完整晶格结构。

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