快速热退火 拼音 kuài sù rè tuì huǒ · 注音 ㄎㄨㄞˋ ㄙㄨˋ ㄖㄜˋ ㄊㄨㄟˋ ㄏㄨㄛˇ · 2026-07-11 19:15:45 快字组词 速字组词 热字组词 退字组词 火字组词 基本属性 拼音字母kuai su re tui huo 拼音首字母ksrth 注音符号ㄎㄨㄞ ㄙㄨ ㄖㄜ ㄊㄨㄟ ㄏㄨㄛ 扩展释义 快速—热退火( RTA) 是半导体加工工艺中的一种常规技术手段,一般用来激活半导体材料中的掺杂元素和将由离子注入造成的非晶结构恢复为完整晶格结构。