扩散炉

基本属性

  • 拼音字母kuo san lu
  • 拼音首字母ksl
  • 注音符号ㄎㄨㄛ ㄙㄢ ㄌㄨ

扩展释义

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

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