磁控溅射法

拼音 cí kòng jiàn shè fǎ · 注音 ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ · 2026-07-16 03:26:48
磁字组词 控字组词 溅字组词 射字组词 法字组词

基本属性

  • 拼音字母ci kong jian she fa
  • 拼音首字母ckjsf
  • 注音符号ㄘ ㄎㄨㄥ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ ㄈㄚ

扩展释义

磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。

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